第1465章
193納米以下光源技術,困擾了整個光刻機行業很多年!
尼康、佳能這些光刻機巨頭,堅定地走157納米光源道路,結果......技術路線錯誤,耗費巨資研製出來的157納米光刻機,沒得到一個訂單!這些巨頭也因此而衰落。
後世大名鼎鼎的ASML,就是因為押寶浸潤式光刻機,取得了圓滿成功,贏家通吃,徹底占領光刻機市場!
秦川不懂造芯片,但是基本的路線還是知道的。而且,他還知道其中一個關鍵人物:林本堅!
林本堅,灣灣人,1970年從灣灣畢業之後,就去了俄亥俄州立大學讀研,老師就是光刻機領域裡的技術泰鬥:帕特裡克-懷特博士。在導師的帶領下,他們團隊研製出來了深紫外光源,從248納米進步到了193納米。
林本堅畢業後,先加入了IBM公司,之後又在IBM旗下的領創公司工作,繼續搗鼓光刻機技術,當光刻機技術在193納米光源麵前停滯不前的時候,他提出來了浸潤式技術,也就是把光源和鏡頭泡在水裡,從而將光源波長縮短。
可惜,他四處碰壁,IBM不要,之後他新加入的台積電也不要,他隻能跑去給默默無名的ASML推銷,然後,ASML就成功了!
嗯,這個人也必須要弄到手,如果他不來,就乾掉他,總之,這條技術路線,不能讓其他光刻機廠商走,尤其是ASML!
“秦總,秦總!”
秦川這才發現,自己剛剛走思了!