第1471章
從美國到東方,用了足足二十天,從魔都到首都,隻用了三四個小時,看到來陽集團給自己包機,林本堅的心中升起了莫名的感動。
第二天,來光。
“來,讓我們用熱烈的掌聲,歡迎林博士的到來!”徐教授第一個鼓掌。
“徐教授,當年,你在光刻機上有很深的造詣,矽穀這邊,還有島國那邊,有很多光刻機專家,對你都是讚不絕口,聽說你後來轉行研究光盤,大家夥都很失望,你要是到矽穀......”
林本堅是光刻機領域的技術大能,他此時,不知覺中,就是一幅高高在上的態度,俯瞰芸芸眾生一樣。
徐教授笑了笑:“我生在這裡,長在這裡,絕對不會把自己知識財富,貢獻給西方的,還好,我們有了來陽集團,對了,我們還是說技術吧,我給您介紹一下我們的計劃。”
“好,讓我聽聽你們距離世界先進水平還有多少年的差距。”
“目前,華清大學高能物理研究所已經能生產ArF激光器,光學專業那邊已經能磨製相關的鏡頭,自動化專業那邊已經能完成......”
林本堅睜大了眼睛:“這麼說,你們已經能製造193納米光刻機了?”
“是的,我們計劃在一年之內,完成樣機調試,三年內,形成產業化,這樣可以將我們國產的芯片技術推進到90納米。”
現在隻能生產0.18微米芯片,也就是180納米,這主要還是光刻機的限製,數量不夠,如果多次投影曝光的話,會嚴重占用產能,等以後,相關光刻機大量投產,利用這種光刻機,就能繼續推進工藝進展!
130納米、90納米......這些工藝製程都能攻克!
當然,光刻機隻是其中一步,其他的工藝,都需要中芯國際來研究,這個不是說句話就能完成的。