兩人趕到某個研究所的時候,已經是淩晨兩點多。
不過,研究所內仍然燈火通明。
在接受了搜身等一係列檢查後,兩人才得以進入。
“小林,小周,你們來了呀!哈哈,看來你們跟我一樣等不及了。”李老開懷大笑。
“李老,這是我近一年來,聽到的最好的消息,我已經迫不及待的想看看我們自己的國產光刻機了。”
“來,讓康研究員給你介紹一下我們的新光刻機吧。”
經過康研究員的一番介紹,兩人大致的了解了一些這款光刻機。
結構方麵,基本是複製了林曉捐給上麵的那台光刻機,但也有部分地方進行了改進。
康研究員知道兩人算是這方麵的小白,所以,解釋的比較通俗。
按照康研究員所說,這台光刻機,算是第四代光刻機,但是,整體方麵,隻能算是三代半,隻是略優於第三代,但是,已經鋪平了第四代光刻機的研發之路,研發出第四代光刻機,隻是時間問題,因為已經沒有太難的技術節點了。
最難的激光光源問題已經解決了,之前林曉通過富歐集團買回來的兩台光刻機,使用的光源是KrF,氟化氪,而現在製造出來的這台,使用的光源是ArF,氟化氬。
之前的光刻機,能生產出300nm已經接近極限了,就算繼續改進製程工藝,最多也就是能生產出180nm製程的芯片。
而新的光刻機,理論上,可以生產出28nm的芯片,當然,這隻是理論上,實際上不可能實現。
但是,利用這一款光刻機,以及後續的改進型,配合更先進的芯片製程工藝,加工出70nm的芯片是沒有什麼問題的。
也就是說,未來的十年,不需要為了光刻機而犯愁了。